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最近更新：2020-01-01
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空气化工（Air Products） · AP-CF4-50L-6N
Megasys®系列四氟化碳纯度高达99.9999%（6N级），金属杂质总量低于0.01ppb，是目前市售最高等级之一。50L钢瓶采用Air Products专利的Ultra-Line®内涂层技术，最大限度减少气体吸附与脱附。配备智能压力调节阀和RFID标签，可集成到工厂气体管理系统。适用于7nm及以下先进制程的原子层刻蚀（ALE）和极紫外光刻（EUV）气体供应。
极致纯度标准；专利包装技术；先进制程验证；全球供应链保障
Ultra-Line®涂层技术最初为NASA航天器气体储存开发，后转为民用。；四氟化碳在等离子体中分解产生的氟自由基，是刻蚀硅材料的关键活性物种。
华特气体 · WT-CF4-40L-5N
该产品为40L标准钢瓶装电子级四氟化碳，纯度≥99.999%，关键杂质如硫、磷含量控制在0.1ppm以下。钢瓶采用内壁镜面抛光处理，阀门为进口 diaphragm valve，确保长期储存无泄漏。产品经过GC-MS、ICP-MS等多重检测，适用于8英寸及以下晶圆刻蚀、腔体清洗等工艺。每瓶附有二维码追溯标签，支持在线查询检测报告。
国产自主可控；全流程质量监控；快速交付能力；客户定制化服务
华特气体的CF4纯化工艺采用了分子筛与低温精馏耦合技术，能耗比传统方法降低20%。；四氟化碳的温室效应潜值（GWP）是CO₂的7390倍，华特提供钢瓶回收和气体再利用服务。
林德（Linde） · CF4-HiQ-50L-5.0
HiQ®系列四氟化碳采用专利纯化技术，纯度达99.999%以上，金属离子含量低于0.1ppb。50L钢瓶配备林德独有的SmartValve®智能阀门，可实时监测瓶内压力与余量。产品通过ISO 17025认证实验室分析，每瓶附有详细质谱报告。特别适用于极紫外光刻（EUV）配套气体及高端CVD清洗工艺。
全球化品质一致性；智能钢瓶管理；全生命周期技术支持；碳中和物流体系
林德SmartValve®阀门内置NFC芯片，手机一碰即可读取气体余量。；四氟化碳在193nm光刻机中用作透镜保护气体，纯度不足会导致光路污染。
中科富海 · CF4-47L-99.999%
该产品为47L标准钢瓶装高纯四氟化碳，纯度≥99.999%，水分、氧含量均控制在1ppm以下。钢瓶采用内壁电抛光处理，阀门为不锈钢隔膜阀，有效避免二次污染。适用于半导体刻蚀、清洗工艺及激光气体混配。每瓶均附带第三方检测报告，支持扫码溯源，是实验室和产线长期信赖的稳定气源。
自主纯化技术；全链条质量追溯；高性价比国产方案；低碳钢瓶回收体系
四氟化碳在半导体刻蚀中被称为'氟源'，其纯度直接影响芯片线宽精度。；中科富海的钢瓶内壁处理技术源自低温超导磁体工艺，可耐受极端温差。